В административном плане Вилейский уезд делится на 3 полицейских округа (стана), с центрами в Молодечно, Долгинове и Дуниловичах, и 26 волостей: Вязынь, Германишки, Городок, Красное Село, Лебедево, Молодечно, Радошковичи и Хотеничи в 1 полицейском округе; Будслав, Вилейка, Долгиново, Ижа, Княгинин, Крайск, Кривичи, Куренец и Рабунь во 2 полицейском округе; Волколата, Дуниловичи, Жосно, Лучай, Маньковичи, Мядель, Норица, Парафьяново и Порплище в 3 полицейском округе.

В судебном отношении уезд делится на 3 участка судебных следователей (с центрами в Вилейке, Дуниловичах и Радошковичах), а также на 4 участка мировых судов: 4-й участок Дисненского округа, 4-й участок Свентянского округа, а также 4-й и 5-й участки Сморгонского округа.

Кроме уездного города в уезде расположен 1 заштатный город (Радошковичи), 20 местечек (Вязынь, Городок, Илия, Красное, Лебедево, Марково и Молодечно в 1 полицейском округе; Будслав, Долгиново, Крайск, Кривичи, Куренец и Речки во 2 полицейском округе; Волколата, Дуниловичи, Задзевье, Маньковичи, Старый и Новый Мядель и Парафьяново в 3 полицейском округе) и 1 244 деревни и более мелких поселений, в общем количестве насчитывающих 10 335 хозяйств (дымов).

В 1880 году в уезде было (без города, население которого в тот год составляло 3 450) 148 585 жителей, в том числе 90 434 православных, 44 482 католика, 523 раскольника, 127 евангелистов аугсбурских, 3 евангелиста-реформатора, 12 744 еврея, 272 магометанина; согласно же сословиям 3 848 шляхты, 410 духовенства, 217 почётных граждан, 17 489 мещан, 120 051 крестьянин, 6 475 военных, 63 иностранца, 34 иных сословий.

В 1857 году было 116 753 жителя, в том числе (согласно Столпянскому): 48 808 белорусов (46 199 православных, 2 609 католиков), 5 266 великоросов, 30 746 литвинов (1 820 православных, 28 926 католиков), 24 092 поляка, 6 848 евреев, 303 татарина.

Православная церковь включает 3 благочиния: Вилейское, Мядельское и Молодеченское, 41 приходскую церковь, 15 филиальных и 45 кладбищенских церквей, 7 каплиц. Вилейское благочиние включает 14 приходов: Вилейка, Долгиново, Гнездилово, Ижа, Каменец-Спасский, Касута, Княгинин, Нарочь, Рабунь, Речки, Узляны, 14 приходских церквей, 3 филиальных, 18 кладбищенских и 3 каплицы; 32 330 прихожан.

Католическая церковь относится к двум деканатам: Вилейскому и Надвилейскому, Виленской диоцезии. К первому из них относится 7 парафий: Будслав, Долгинов, Костеневичи, Лебедево, Ольковичи и Радошковичи (ранее было ещё 7: Илья, Красное Село, Куренец, Молодечно, Спас, Хожево и Холхлово), всего 7 парафиальных костёлов, 6 филиальных и 14 каплиц; 23 579 парафиан. Надвилейский деканат так же состоит из 7 парафий: Волколата, Дуниловичи, Задзево, Лучай, Мядель, Парафьяново и Поставы, 7 парафиальных костёлов, 1 филиального, 15 каплиц, 34 444 парафиан.

Вилейский уезд был создан в 1795 году из Завилейского (с центром в г. Поставы) и части Ошмянского поветов Виленского воеводства бывшего Великого княжества Литовского.

Маршалками уездной шляхты были: Ян Людвик Володкович герба Радван (1796-1800), Юзеф Володкович, Гиполит Гецевич герба Лелива (1807-09), Казимир Карницкий герба Сырокомля (1807-12), Мельхиор Володкович (1817-20), Ян Оскерко герба Мурделио (1820), Онуфрий Богданович герба Могила (1822), Ян Любанский герба Порай (1825), Александер Домейко (1833), Зенон Любанский (1846-53), Мечислав Тукалло (1854-59), Константий Снитко (1863), Циприан Цивинский герба Пухала (1877-81).