З адміністрацыйнага погляду павет падзяляецца на 4 паліцэйскія акругі (стана): Жупраны, Смаргонь, Дзевянішкі і Валожын; 2 міравыя акругі па сялянскім справам: Ашмяны і Палачаны; 4 вайскова-прызыўныя дзяльніцы: Ашмяны, Смаргонь, Суботнікі і Валожын; 3 дзяльніцы судовых сьледчых, з сядзібамі ў Ашмянах, Гальшанах і Смаргоні, а таксама 4 дзяльніцы міравых судзей, а менавіта 4-ая дзяльніца Лідзкай акругі для 8 валасьцей і тры дзяльніцы Смаргоньскай акругі для астатніх.

Далей павет падзяляецца на 23 воласьці: Паляны, Солы, Гальшаны, Граўжышкі, Куцэвічы (у 1 паліцэйскай акрузе); Смаргонь, Беніца, Палачаны і Гародзькі (у 2 паліцэйскай акрузе); Дзевянішкі, Суботнікі, Ліпнішкі, Седліска, Іўе, Лугамовічы, Трабы, Юрацішкі (у 3 паліцэйскай акрузе); Валожын, Вішнеў (Вішнева), Налібакі, Дзераўная і Бакшты (у 4 паліцэйскай акрузе).

Гэтыя воласьці ахопліваюць 142 сельскія акругі (староствы), 1 353 вёскі і іншыя населеныя мясьціны і 12 430 хат. У павецее знаходзяцца наступныя мястэчкі: у 1 паліцэйскай акрузе - Слабодка, Жупраны, Солы, Гальшаны, Мураваная Ашмянка, Баруны і Граўжышкі; у 2 паліцэйскай акрузе - Заскавічы, Беніца, Смаргонь і Крэва; у 3 паліцэйскай акрузе - Суботнікі, Ліпнішкі, Канвалішкі, Геранёны, Германішкі, Дзевянішкі, Тракелі, Іўе, Мікалаева, Дуды, Лаздуны, Трабы, Сурвілішкі і Юрацішкі; у 4 акрузе - Валожын, Вішнева, Славенск, Забрэзьзе, Дзераўная і Налібакі.

У 1859 г. у павеце было 128 666 жыхароў (60 515 мужчын і 63 547 кабет), у 1871 г. 142 688 чал.; у 1875 г. 152 261 чал.; у 1878 г. 156 218 чал.

У 1859 г. у павеце было 27 394 праваслаўных беларусаў, 20 650 палякаў каталікоў, 162 571 ліцьвінаў каталікоў і 2 527 праваслаўных ліцьвінаў.

У 1880 г. у Ашмянах было 5 050 жыхароў, у тым ліку паводле вызнаньня: 352 праваслаўных, 2 175 каталікоў, эвангелістаў 3, габрэеў 2 501 і 18 магамэтанаў.

У тым жа годзе ў павеце (апроч г. Ашмяны) было 162 285 жыхароў, у тым ліку паводле вызнаньня: 50 440 праваслаўных, 891 старавераў, каталікоў 99 020, эвангелістаў 162, габрэеў 11 131 і магамэтанаў 641.

У 1880 г. у павеце (апроч Ашмянаў) паводле станаў жыхарыла: 5 749 шляхты, 287 духоўных служэбнікаў розных канфэсій, 69 ганаровых грамадзян, 22 827 мяшчан, 128 011 сялян, 5 084 вайсковых, 220 іншаземцаў і 38 не залічаных ані да аднаго зь пералічаных станаў.

Насельніцтва зьмешанае зь ліцьвіноў і беларусаў; мова большасьці жыхароў - пераходная ад польскай да беларускай, з дамешкай летувіскіх слоў.

З царкоўнага погляду Ашмянскі павет падзяляецца на два праваслаўных благачынствы (дэканата) - Ашмянскае і Валожынскае, першае зь якіх улучае 14 парафій: Ашмяны, Смаргонь (дзьве: Перамяненьня Панскага і сьв. Міхала), Беніца, Крэва (дзьве: сьв. Троіцы і сьв. Аляксандра Неўскага), Залесьсе, Лоск, Гальшаны, Трабы, Цыцін, Юрацішкі, Суцькава, Міхайлаўшчына. Мае 14 парафіяльных цэркваў, 8 філіяльных, 9 цьвінтарных, 4 капліцы і 23 392 вернікаў (11 693 мужчын і 11 699 кабет).

Валожынскае благачынства ўлучае 12 парафій: Валожын (дзьве: сьв. Язэпа і сьв. Канстантына), Вішнева, Забрэзьзе, Мікалаева, Славенск, Дубіна, Гарадзілава, Груздава, Даўбені, Бакшты і Гародзькі, з 12 парафіяльнымі царквамі, 3 філіяльнымі, 6 цьвінтарнымі, 3 капліцамі і налічвае 27 400 вернікаў (13 515 мужчын і 13 885 кабет). Агулам па павеце маецца 52 царквы і 7 капліц.

Ашмянскі павет мае таксама два каталіцкіх дэканаты: Ашмянскі і Вішнеўскі. Ашмянскі дэканат улучае 6 парафій: Ашмяны, з капліцамі ў Алянах, Гародніках і Палянах (8 040 вернікаў); Гальшаны, зь філіяй у Багданаве і капліцай у Гальшанах (8 457 вернікаў); Солы, зь філіяй у Даўкшышках і капліцамі ў Солах, Слабодцы, Рачунах, Пранюнах і Гудагае (8 591 вернікаў); Граўжышкі (3 013 вернікаў); Жупраны, з капліцай там жа (5 030 вернікаў) і Мураваная Ашмянка (4 309 вернікаў), разам 37 440 вернікаў. Раней былі яшчэ парафіі: Смаргонь, Крэва і Беніца. Вішнеўскі дэканат улучае 12 парафій: Вішнева, з цьвінтарнай капліцай (4 877 вернікаў); Геранёны, зь філіяй у Дзевянішках і капліцай у Беркаўшчыне (7 421 вернікаў); Груздава-Аборак, з капліцамі ў Хоўхлаве, Чэрневе і на пахавальных могілках (3 312 вернікаў); Дзераўная (4 842 вернікаў); Іўе, зь філіяй у Дудах і капліцамі ў Ятаўтавічах і на пахавальных могілках (11 460 вернікаў); Канвелішкі, з капліцай у Стоках (2 525 вернікаў); Ліпнішкі, з капліцай у Зыгмунцішках (5 900 вернікаў); Налібакі (4 344 вернікаў); Суботнікі, зь філіяй у Лаздунах і капліцай у Квяткоўцах (9 545 вернікаў); Сурвілішкі, з капліцай у Клявіцах (3 041 вернікаў); Трабы, з капліцамі ў Янцэвічах і на пахавальных могілках (3 952 вернікаў) і Забрэзьзе, з капліцай у Ражаславе (3 891 вернікаў), агулам 65 110 вернікаў. Апроч гэтых раней былі касьцельныя парафіі ў: Лоску, Валожыне і Гарадзілаве.

Маршалкамі Ашмянскага павету перад падзелам былі (паводле альфабэту): Аскерка Марцін гербу Мурдэліё (1765-86), Волян Аляксандар, Волян Тамаш гербу Ліс (1632-38), Зяновіч Крыштап гербу ўласнага (1697-1701), Зяновіч Ян з Братошына Дэшпат (1648), Коцел Самуэль Геронім гербу Пэлікан (1683), Пшазьдзецкі Мікалай Уладыслаў (1672-73), Стахоўскі Крыштап гербу Агеньчык, Сулістроўскі Антоні гербу Любіч (1747-50), Хамінскі Людвік Якуб гербу Порай (1717-24), Храпавіцкі Мікалай гербу Газдава, Шорс Мікалай Крыштап гербу Мора (1637).

Пасьля падзелу Рэчы Паспалітае маршалкамі былі: Ахматовіч Н. (1863), Брахоцкі гербу Асорыя (1862), Важынскі Марцін Скарбэк гербу Абданк (1820), Важынскі Эдвард (1840), Дмахоўскі Аўрэліян гербу Побуг (1808), Жаба Антоні (1812), Жаба Ігнаці гербу Касьцеша (1811), Любанскі Ян гербу Порай (1853), Пазьняк Францішак гербу Бэлты (1798,1810), Пуслоўскі Уладыслаў гербу Шаліга адм., Пшацішэўскі Адам гербу Гжымала (1805,1807), Сулістроўскі Язэп гербу Любіч (1846), граф Тышкевіч Язэп гербу Ляліва (1831), Умястоўскі Казімір, Умястоўскі Канстантын (1858), Умястоўскі Тамаш гербу Рох, Умястоўскі Якуб (1809), Фэльдман Казімір, Цюфяеў Аляксандар (1871), Чаховіч Казімір гербу Астоя (1825).