З адміністративної точки зору повіт ділиться на 4 поліцейські округи (стани): Жупрани, Сморгонь, Дев'янішки та Воложин; 2 мирових округи у селянських справах: Ошмяни та Полочани; 4 військово-призовні ділянки: Ошмяни, Сморгонь, Суботники та Воложин; 3 дільниці судових слідчих, з управами в Ошмянах, Гольшанах і Сморгоні, а також 4 дільниці мирових суддів, а саме 4-а дільниця Лідського округу для 8 волостей і три дільниці Сморгонського округу для тих, що залишилися.

Далі повіт ділиться на 23 волості: Поляни, Соли, Гольшани, Граужишки, Куцевичі (в 1 поліцейському окрузі); Сморгонь, Беніца, Полочани та Городьки (у 2 поліцейському окрузі); Дев'янішки, Суботники, Ліпнішки, Седліско, Ів'є, Лугомовичі, Траби, Юратішки (у 3 поліцейському окрузі); Воложин, Вішнев (Вішнево), Налібоки, Деревна та Бакшти (у 4 поліцейському окрузі).

Ці волості охоплюють 142 сільських округи (староства), 1 353 деревні та інших населених місць і 12 430 хат. У повіті знаходяться такі містечка: в 1 поліцейському окрузі - Слободка, Жупрани, Соли, Гольшани, Мурована Ошмянка, Боруни та Граужишки; у 2 поліцейському окрузі - Засковичі, Беніца, Сморгонь та Крево; у 3 поліцейському окрузі - Суботники, Ліпнішки, Конвалішки, Гераньони, Германішки, Дев'янішки, Трокелі, Ів'є, Міколаєво, Дуди, Лаздуни, Траби, Сурвілішки та Юратішки; у 4 окрузі - Воложин, Вішнево, Словенськ, Забреззє, Деревна та Налібоки.

У 1859 році у повіті було 128 666 мешканців (60 515 чоловіків та 63 547 жінок), у 1871 р. 142 688 осіб; у 1875 р. 152 261 осіб; у 1878 р. 156 218 осіб.

У 1859 р. у повіті було 27 394 православних білорусів, 20 650 поляків католиків, 162 571 литвинів католиків та 2 527 православних литвинів.

У 1880 р. в Ошмянах було 5 050 мешканців, у тому числі за віросповіданням: 352 православних, 2 175 католиків, євангелістів 3, євреїв 2 501 та 18 магометан.

У тому ж році у повіті (крім м. Ошмяни) було 162 285 мешканців, у тому числі за віросповіданнями: 50 440 православних, 891 розкольник, католиків 99 020, євангелістів 162, євреїв 11 131 та магометан 641.

У 1880 р. у повіті (крім м. Ошмяни) у розрізі станів проживало: 5 749 шляхти, 287 духовних служителів різних конфесій, 69 почесних громадян, 22 827 міщан, 128 011 селян, 5 084 військових, 220 іноземців та 38 не віднесених до жодного з перелічених станів.

Населення змішане з литвинів та білорусів; мова більшості жителів - перехідна від польської до білоруської, з домішкою литовських слів.

З церковної точки зору Ошмянський повіт ділиться на два православні благочиння (деканати) - Ошмянське та Воложинське, перше з яких поєднує 14 парафій: Ошмяни, Сморгонь (дві: Преображення Господнього та св. Міхаїла), Беніца, Крево (дві: св. Трійці та св. Олександра Невського), Залессє, Лоськ, Гольшани, Траби, Цитін, Юратішки, Сутьково, Міхайловщина. Має 14 парафіяльних церков, 8 філіальних, 9 цвинтарних, 4 каплиці та 23 392 парафіян (11 693 чоловіків та 11 699 жінок).

Воложинське благочиння має 12 парафій: Воложин (дві: св. Йосипа і св. Костянтина), Вішнево, Забреззе, Міколаєво, Словенськ, Дубіна, Городілово, Груздово, Довбені, Бакшти та Городьки, з 12 парафіяльними церквами, 3 філіальними, 6 цвинтарними, 3 каплицями та налічує 27 400 парафіян (13 515 чоловіків та 13 885 жінок). Загалом за повітом є 52 церкви та 7 каплиць.

Ошмянський повіт має також два католицькі деканати: Ошмянський та Вішневський. Ошмянський деканат охоплює 6 парафій: Ошмяни, з каплицями в Олянах, Городніках та Полянах (8 040 парафіян); Гольшани, з філією у Богданові та каплицею у Гольшанах (8 457 парафіян); Соли, з філією в Даукшишках і каплицями в Солах, Слободці, Рачунах, Пронюнах та Гудогаї (8 591 парафіян); Граужишки (3 013 парафіян); Жупрани, з каплицею там же (5 030 парафіян) та Мурована Ошмянка (4 309 парафіян), разом 37 440 парафіян. До цього були ще парафії: Сморгонь, Крево та Беніца. Вішневський деканат охоплює 12 парафій: Вішнево, з цвинтарною каплицею (4 877 парафіян); Гераньони, з філією у Дев'янішках та каплицею у Берковщині (7 421 парафіян); Груздово-Оборек, з каплицями в Холхлові, Черневі та на похоронному цвинтарі (3 312 парафіян); Деревна (4 842 парафіян); Ів'є, з філією в Дудах та каплицями в Ятолтовичах та на похоронному цвинтарі (11 460 парафіян); Конвелішки, з каплицею в Стоках (2 525 парафіян); Ліпнішки, з каплицею в Зигмунтішках (5 900 парафіян); Налібоки (4 344 парафіян); Суботники, з філією у Лаздунах та каплицею у Квятковцях (9 545 парафіян); Сурвілішки, з каплицею в Клевіцях (3 041 парафіян); Траби, з каплицями в Янцевичах і на похоронному цвинтарі (3 952 парафіян) та Забреззє, з каплицею в Рожеславі (3 891 парафіян), загалом 65 110 парафіян. Крім цього, раніше були костьольні парафії: у Лоську, Воложині та Городілові.

Маршалками Ошмянського повіту перед розділом були (за абеткою): Волян Олександр, Волян Томаш гербу Лис (1632-38), Зенович Криштоф гербу власного (1697-1701), Зенович Ян з Братошина Дешпот (1648), Коцелл Самуель Геронім гербу Пелікан (1683), Оскерко Мартін гербу Мурделіо (1765-86), Пшездецький Миколай Владислав (1672-73), Стаховський Кшиштоф гербу Оґоньчик, Сулістровський Антоній гербу Любич (1747-50), Хомінський Людвік Якуб гербу Порай (1717-24), Храповицький Миколай гербу Ґоздава, Шорс Миколай Кшиштоф гербу Мора (1637).

Після поділу Речі Посполитої маршалками були: Ахматович Н. (1863), Брохоцький гербу Осория (1862), Чехович Казимир гербу Остоя (1825), Дмоховський Ауреліан гербу Побуґ (1808), Фельдман Казимир, Любанський Ян гербу Порай (1853), Позняк Францішек гербу Белти (1798, 1810), Пшецишевський Адам гербу Ґжимала (1805, 1807), Пусловський Владислав гербу Шеліґа відм., Сулістровський Юзеф гербу Любич (1846), граф Тишкевич Юзеф гербу Леліва (1831), Тюфяєв Олександр (1871), Умястовський Томаш гербу Рох, Умястовський Якуб (1809), Умястовський Костянтин (1858), Умястовський Казимир, Важинський Мартін Скарбек гербу Абданк (1820), Важинський Едвард (1840), Жаба Ігнатій гербу Косцеша (1811), Жаба Антоній (1812).