В адміністративному плані Вілейський повіт ділиться на 3 поліцейські округи (стани), з центрами в Молодечно, Долгинові та Дуніловичах, та 26 волостей: В'язинь, Германішки, Городок, Красне Село, Лебедєво, Молодечно, Радошковичі та Хотеничі в 1 поліцейському окрузі; Будслав, Вілейка, Долгіново, Іжа, Княгінін, Крайськ, Кривичі, Куренець та Рабунь у 2 поліцейському окрузі; Волколата, Дуніловичі, Жосно, Лучай, Маньковичі, Мядель, Нориця, Параф'яново та Порплище у 3 поліцейському окрузі.

У судовому відношенні повіт ділиться на 3 дільниці судових слідчих (з центрами у Вілейці, Дуніловичах та Радошковичах), а також на 4 дільниці мирових судів: 4-а ділянка Дісненського округу, 4-а ділянка Свентянського округу, а також 4-а та 5-а ділянки Сморгонського округу.

Окрім повітового міста у повіті розташоване 1 заштатне місто (Радошковичі), 20 містечок (В'язинь, Городок, Ілля, Красне, Лебедєво, Марково та Молодечно в 1 поліцейському окрузі; Будслав, Долгіново, Крайськ, Кривичі, Куренець та Річки у 2 поліцейському окрузі; Волколата, Дуніловичі, Задзев'я, Маньковичі, Старий і Новий Мядель і Параф'яново в 3 поліцейському окрузі) і 1 244 деревні і дрібніших поселень, що загалом налічують 10 335 господарств (димів).

У 1880 році в повіті було (без міста, населення якого в той рік становило 3 450) 148 585 мешканців, у тому числі 90 434 православних, 44 482 католика, 523 раскольника, 127 євангелістів аугсбурзьких, 3 євангеліста-реформатора, 12 744 єврея, 272 магометанини; згідно ж станам 3 848 шляхти, 410 духовенства, 217 почесних громадян, 17 489 міщан, 120 051 селянин, 6 475 військових, 63 іноземці, 34 інших станів.

У 1857 році було 116 753 мешканці, у тому числі (згідно Столп'янського): 48 808 білорусів (46 199 православних, 2 609 католиків), 5 266 великоросів, 30 746 литвинів (1 820 православних, 28 926 католиків), 24 092 поляки, 6 848 євреїв, 303 татарини.

Православна церква включає 3 благочиння: Вілейське, Мядельське та Молодеченське, 41 парафіяльну церкву, 15 філіальних та 45 цвинтарних церков, 7 каплиць. Вілейське благочиння включає 14 парафій: Вілейка, Долгіново, Гнездилово, Іжа, Кам'янець-Спаський, Касута, Княгінін, Нароч, Рабунь, Річки, Узляни, 14 парафіяльних церков, 3 філіальних, 18 цвинтарних та 3 каплиці; 32 330 парафіян.

Католицька церква відноситься до двох деканатів: Вілейського та Надвілейського, Віленської єпархії. До першого з них належить 7 парафій: Будслав, Долгінов, Костеневичі, Лебедєво, Ольковичі та Радошковичі (раніше було ще 7: Ілля, Красне Село, Куренець, Молодечно, Спас, Хожево та Холхлово), всього 7 парафіяльних костел, 6 філіальних та 14 каплиць; 23 579 парафіян. Надвілейський деканат також складається з 7 парафій: Волколата, Дуніловичі, Задзево, Лучай, Мядель, Параф'яново та Постави, 7 парафіяльних костел, 1 філіальни, 15 каплиць, 34 444 парафіян.

Вілейський повіт був створений у 1795 році із Завілейського (з центром у м. Постави) та частини Ошмянського повітів Віленського воєводства колишнього Великого князівства Литовського.

Маршалками повітової шляхти були: Ян Людвік Володкович гербу Радван (1796-1800), Юзеф Володкович, Гіполіт Гецевич гербу Леліва (1807-09), Казімерж Карницький гербу Сирокомля (1807-12), Мельхіор Володкович (1817-20), Ян Оскерко гербу Мурделіо (1820), Онуфрій Богданович гербу Моґіла (1822), Ян Любанський гербу Порай (1825), Олександр Домейко (1833), Зенон Любанський (1846-53), Мечислав Тукалло (1854-59), Константій Снітко (1863), Цивінський гербу Пухала (1877-81).